856章极紫外光光刻胶(1/2)

在监控室里面，屏幕上上显示着这套光源设施的运行状态参数，也可以看到用户控制室里面的一些技术人员正在用户从正在控制着设备，同时收集并分析实验数据。

杨杰见到现在控制七个线站实验室的用户控制室此时都是不同的技术团队在做着实验，他笑了笑，随后说道：“走，去用户控制室那边去看看。”

当他来到生物大分子晶体光束线站的这个用户控制室里面的时候，此时控制室里面的数人听到动静都是齐刷刷地看过来。

为首的这位五十来岁的男人看到杨杰在众人的簇拥下走进来，眼中顿时闪过喜色，连忙笑着迎上前。

“杨少，您怎么过来了？”

“呵呵，我听说滕教授也是在这里，也是特意过来看看听听您对我们的这套光源设施有什么建议。”

杨杰笑着跟眼前的这个滕教授握手道。

眼前的这个腾教授是中华科技大学研究病毒蛋白质结构的滕永坤，之前他天天盼着这座神光光源大型实验室正式开放。

因为他跟华兴集团公司旗下的生物制药公司有合作，这次听说神光光源公司的大型实验室试运行，也是托关系得到了参与试运行的机会，提前带着技术团队赶到这边做实验。

“杨少，我对神光光源有限公司的在生物大分子晶体光束线站的实验设备是非常满意的，今天我们只花了半个小时就解析出一个新的蛋白结构，得到了一套非常漂亮的数据。”

腾永坤教授眼中放光地说道，随即他也是向杨杰展示了今天他得到的数据，试验站的设备仪器通过不同角度的光源照射和拍照，控制室里面的高性能计算机通过软件计算可以得到生物大分子的三维结构的图像。

有了这些图像，可以揭示分子结构和功能的关系，腾教授通过对病毒外壳蛋白三维结构的详细了解，有助于发明可以阻断病原对细胞感染或抑制其致病功能的药物。

有了这样的利器，可以更加详细地了解癌细胞、艾滋病病毒的机理，这对研制出抗癌和治疗艾滋病的药物有着巨大的帮助作用。

这个也是杨杰为什么特意让现在七条线站专门留两天线站来专门用于生命科学和医药研究的原因。

杨杰跟滕教授畅谈了一番，这才来到华兴集团公司旗下半导体材料的子公司的一间控制室。

看到杨杰过来，这些技术人员都是激动地站起身来打招呼。

“杨少……”

“大家都不要这么拘谨，我就是过来了解一下你们的实验进度。”

杨杰笑着说道。

“杨少，也是多亏现在我们自己有了这么一套光源设施来进行实验，不然我们在光刻胶方面的研发进度耽搁的时间就太长了。”

带领技术团队的黄明成博士感慨地说道，他加入华兴集团公司有九年了，一直都是负责光刻机的研发，这次自然也是承担了极紫外光光刻胶的研发任务。

光刻技术随着集成电路集成度的提升而不断发展，为了满足集成电路对密度和集成度水平的更高要求，半导体用光刻胶通过不断缩短曝光波长以提高极限分辨率，世界芯片工艺水平目前已跨入微纳米级别，光刻胶的波长由紫外宽谱逐步提升到了g线、i线、氟化氪、氟化氩、f2，国外现在能够做到的f2光源波长在157纳米，同时业发展出了相应的光刻胶。

半导体材料公司光刻胶技术部门也是从i线光刻胶开始的，通过霓虹国设置在吕宋国的光刻胶工厂得到了工艺资料后杨杰也是找到了黄明超等在做光刻胶的技术人员摸索出了i线光刻胶的配方，之后开始自主研发氟化氪、氟化氩光源的光刻胶。

不过杨杰并没有让f2光源的光刻胶，而是直接让他们研发极紫外光的光刻胶。

通过数年的研发，黄明超等技术团队此时已经研发出了极紫外光的光刻胶，可是因为没有合适的光源来做实验验证，去鹰酱的国家实验室去做实验的话等的时间太长了。

这次神光光源设施试运行，技术团队也是向总部第一个递交了申请，杨杰也是同意了下来。

要想研发极紫外光光刻机有几个关键的子系统要解决，首先就是极紫外光的光源，现在小功率的极紫外光光源还没有研发出来，所以很多实验只能先是来这个大型的实验室来做。

现在神光光源设施开始试运行，也是为小型化的极紫外光光源打下了非常坚实的基础。

因为光刻机的光源功率要求在250w，而神光光源的光束能量比这个不知道要高到哪里去了，所以实验的时候功率都是要通过远程的能量调节器调到需要的光源功率才能进行实验。

在光刻胶方面，要实现大规模量产要求光刻胶的照射反应剂量水平必须不高于20兆焦每平方厘米，不过极紫外光的光刻胶的照射剂量普遍需要达到多少每平方厘米的照射剂量才能得到完美图像必须要经过大量的实验才能确定下来，毕竟光刻胶的配方不同。

这中间由于极紫外光的破坏性太大，照射的时候会产生的一些光子随机效应，这中间就包括了光子发射噪声现象，照射光光子数量的变化会影响光刻胶的性能，因此会产生一些成像缺陷。

而且光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征，还需要相应光刻机与之配对调试。

一般情况下，一个芯片在制造过程中需要进行10到50道光刻过程，由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻